飞照新材电子束光刻胶的PMMA系列可对标Allresist 和 Microchem产品库,提供客户定制化开发方案,例如不同粘度(膜厚相关),PMMA树脂分子量覆盖50k-950k(灵敏度/分辨率相关), 分子量分布PDI 1.5-2.5 (分辨率/LWR相关),不同溶剂体系(苯甲醚或氯苯)的产品。
飞照新材电子束光刻胶的PMMA系列可对标Allresist 和 Microchem产品库,提供客户定制化开发方案,例如不同粘度(膜厚相关),PMMA树脂分子量覆盖50k-950k(灵敏度/分辨率相关), 分子量分布PDI 1.5-2.5 (分辨率/LWR相关),不同溶剂体系(苯甲醚或氯苯)的产品。